據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻氣題材上市公司有：

凱美特氣（002549）：

公司控股子公司凱美特電子特種氣體公司生產的光刻氣產品通過ASML子公司Cymer認證，成為全球頂級光刻機廠商的合格供應商，這使其在全球光刻機氣體供應領域具有稀缺性。

近30日股價上漲36.3%，2025年股價上漲39.37%。

杰普特（688025）：

在近30個交易日中，杰普特有17天上漲，期間整體上漲6.23%，最高價為61.88元，最低價為50.61元。和30個交易日前相比，杰普特的市值上漲了3.36億元，上漲了6.23%。

泛亞微透（688386）：

近30日泛亞微透股價上漲20.52%，最高價為48.29元，2025年股價上漲31.18%。

漢威科技（300007）：

近30日漢威科技股價下跌19.14%，最高價為52.49元，2025年股價上漲45.25%。

萬盛股份（603010）：

萬盛股份在近30日股價下跌1.94%，最高價為11.16元，最低價為10.27元。當前市值為60.73億元，2025年股價上漲0.29%。

昊華科技（600378）：

近30日昊華科技股價下跌2.11%，最高價為28.44元，2025年股價下跌-5.32%。

長電科技（600584）：

近30日股價下跌11.67%，2025年股價下跌-15.98%。

數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。股市有風險，投資需謹慎。