去膠機相關概念股有哪些？

　　芯源微：6月4日收盤短訊，芯源微今日股價15時漲1.45%，報價105.7元，市值達到88.79億。

　　6月3日該股主力凈流入-686.04萬元，超大單凈流入96.98萬元，大單凈流入-783.03萬元，中單凈流入216.63萬元，散戶凈流入5.65元。

　　公司是國家高新技術企業，主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備(涂膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備(清洗機、去膠機、濕法刻蝕機)。2021年第一季度，公司營收約1.13億元，同比增長1229.72%；凈利潤約461萬元。