據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體清洗設備上市龍頭企業有：

芯源微：半導體清洗設備龍頭，7月5日消息，芯源微資金凈流出3121.63萬元，超大單資金凈流出2220.08萬元，換手率1.6%，成交金額3.06億元。

截至4月15日13時36分，芯源微(688037)報94.480元，跌3.47%，當日最高價為98.16元，換手率1.6%，PE（市盈率）為51.91，成交額3.06億元。

北方華創：半導體清洗設備龍頭，4月11日消息，北方華創主力凈流出1003.51萬元，超大單凈流出3438.18萬元，散戶凈流出39.55萬元。

截至發稿，北方華創（002371）跌2.02%，報448.960元，成交額12.13億元，換手率0.51%，振幅跌1.87%。

富樂德：半導體清洗設備龍頭，資金流向數據方面，7月18日主力資金凈流流入3131.72萬元，超大單資金凈流入1247.32萬元，大單資金凈流入1884.4萬元，散戶資金凈流出2281.15萬元。

4月15日13時36分，富樂德跌1.66%，報37.800元；5日內股價上漲7.62%，成交額1.13億元，市值為127.91億元。

半導體清洗設備概念股其他的還有：

元成股份：北京時間4月15日，ST元成開盤報價3.91元，收盤于3.830元，相比上一個交易日的收盤跌2.54%報3.94元。當日最高價4.06元，最低達3.81元，成交量1474.71萬手，總市值12.48億元。公司于2022年12月收購半導體清洗設備廠商硅密電子51%股權，正式切入半導體設備領域。硅密電子作為一家從事半導體濕法槽式清洗設備的研發、設計、生產和銷售的半導體設備廠商，產品主要包括半導體集成電路濕法清洗設備、濕法刻蝕設備、半導體材料濕法清洗設備、石英爐管清洗設備、高純石英件清洗設備、半導體先進封裝濕法設備等，已掌握從2英寸到12英寸各種尺寸晶圓的槽式濕法清洗及刻蝕設備的技術路線，在半導體IC晶圓制造、半導體先進襯底材料、藍寶石襯底、LED芯片制造、光伏等領域也成功開發了多家國內知名客戶，主要有華潤上華、士蘭微子公司、中國科學院上海微系統與信息技術研究所、滁州華瑞微、天合光能等。

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